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较早公告： 气体净化装置采用特殊结构，具有接触面积大、阻力小、净化效果高、热功耗损少等优点。本装置可与区熔硅单晶炉配套使用，也可用于激光器、溅射、半导体生产、气相色谱仪、特殊灯泡、稀有金属加工等需要用高纯氩气的生产技术领域。气体净化装置是一种较为理想的通过催化反应（无明火）处理有机污染物的方法，具有适用范围广，结构简单，净化效率高，节能、无二次污染等优点：（1）净化效率高，可高达98%以上，确保排气达到环保排放标准；（2）进行无焰燃烧，设置多重安全设施，设备运转安全、可靠；（3）起燃温度低，换热及加热效率高

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